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質(zhì)量流量計(jì)

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GRYLLS格里爾斯工藝空氣氮?dú)鈿怏w質(zhì)量流量計(jì)，0.5sccm – 6000 slm 全量程，采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出。
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差壓式液體流量計(jì)5950DD4采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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