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科氏液體質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述:科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

  • 產(chǎn)品型號(hào):5911D4
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-05-28
  • 訪  問  量:1911

詳細(xì)介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池

科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術(shù)指標(biāo)

  1

  量程范圍

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  準(zhǔn)確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

  4

  重復(fù)精度

  ±0.2%F.S

  5

  響應(yīng)時(shí)間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

  6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

  7

  耐壓

  3MPa

  8

  工作環(huán)境溫度

  0~70℃

  9

  數(shù)字量

  RS485 MODBUS協(xié)議

  10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

  11

  供電

  DC +15V/24V 可選,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA

  12

  電氣連接

  DB15

  13

  漏率

  1×10\u001F-8SCCSH


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